Produktionssystem für He-Lecktest
Zeitraum: 2013-2016
Dieses Projekt umfasste ein LabVIEW-basiertes Produktions- und Prüfsystem für automatisierte Helium-Lecktests in der Halbleiterfertigung. Der Fokus lag auf stabilen, reproduzierbaren Prüfabläufen bei gleichzeitig geringem manuellen Eingriff.
Die Systemintegration wurde so ausgelegt, dass Daten und Ergebnisse in bestehende Produktionsabläufe rückgekoppelt werden können. Schnittstellen zu MES- und CAQ-Strukturen waren dabei ein wichtiger Bestandteil, um Testresultate entlang der Fertigungslinie nutzbar zu machen.
Technologien: LabVIEW, Webservices, Produktionsautomation, Reporterstellung.
Vorschläge für Abbildungen
- Ablaufdiagramm von Bauteileinlauf bis PASS/FAIL-Rückmeldung inkl. MES-Anbindung.
- Beispielhafter Prüfbericht mit Leckraten, Grenzwerten und Seriennummernbezug.