Ullrich Industriegeräte

Echtzeit-Automatisierungssysteme für Industrie und Medizintechnik

Produktions-Yield-Auswertung

Zeitraum: 2010-2015

Das Projekt zielte auf die systematische Identifikation von Yield-Verlusten in der Halbleiterproduktion. Dazu wurden Daten aus mehreren Prozess- und Qualitätsquellen konsolidiert und hinsichtlich auffälliger Muster ausgewertet.

Im Ergebnis entstanden belastbare Auswertungen für Prozessvergleiche und Priorisierung von Verbesserungsmassnahmen. Der Mehrwert lag vor allem in der Transparenz über dominierende Verlusttreiber und deren zeitliche Entwicklung.

Technologien: Matlab, Produktionsdatenanalyse, Visualisierung.

Vorschläge für Abbildungen

  • Pareto-Diagramm der wichtigsten Yield-Verlusttreiber.
  • Korrelationsdarstellung zwischen Prozessparametern und Ausbeute.