Ullrich Industriegeräte

Echtzeit-Automatisierungssysteme für Industrie und Medizintechnik

Produktions-Auswertung von Ebenheiten

Zeitraum: 2010-2023

Für die Halbleiterfertigung wurde ein Auswertungssystem für hochpräzise Ebenheitsmessungen aufgebaut. Die Aufgabe bestand darin, Messdaten aus unterschiedlichen Quellen zusammenzuführen und verlässlich gegen Toleranzkriterien zu bewerten.

Durch strukturierte PASS/FAIL-Auswertung und gut nachvollziehbare Ergebnisdarstellung konnten Rückmeldeschleifen in der Produktion verbessert und Reklamationen reduziert werden. Das System wurde auf dauerhafte Prozessbeobachtung und reproduzierbare Berichte ausgerichtet.

Technologien: Scilab, Produktionsmesstechnik, Datenvisualisierung, Reporterstellung.

Vorschläge für Abbildungen

  • Heatmap der Flächenabweichung mit markierten Toleranzgrenzen.
  • Zeitlicher Trendplot zentraler Ebenheitskennzahlen je Charge.

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Impressum

Ullrich Industriegeräte UG (haftungsbeschränkt)
Handelsregister HRB 13570 HL
Dr. Stefan Ullrich
Werkstraße 51h
23569 Lübeck
USt-IdNr.: DE292839291
Gewerbliche Haftpflichtversicherung bei der SIGNAL IDUNA
Telefon: +49 451 70746700

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